在系統(tǒng)中做主泵所謂主泵就是對真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。粗抽泵粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。前級(jí)泵前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵。維持泵維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵。高真空泵高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。